Исследование и разработка тонкоплёночных многослойных электролитических ячеек
Ву Дык Хоан
Специальность 05.27.06 «Технология и оборудование для производства
полупроводников, материалов и приборов электронной техники»
Научный руководитель: доктор технических наук, профессор Слепцов Владимир ВладимировичРабота выполнена на кафедре «Радиоэлектроника, телекоммуникации и нанотехнологии» ФГБОУ ВО «Московский авиационный институт
(национальный исследовательский университет)» — МАИ
Официальные оппоненты:
Нестеров Сергей Борисович — доктор технических наук, Президент Российского научно-технического вакуумного общества, профессор МГТУ им. Э.А. Баумана
Белянин Алексей Федорович — доктор технических наук, профессор ОАО
ЦНИТИ «Техномаш»
Ведущая организация ОАО «РТИ» имени академика А.Л. Минца
Защита диссертации состоится «29» июня 2017 г. в 14 час.30 мин. на заседании Диссертационного совета Д 212.132.06 в НИТУ МИСИС по адресу: 119049, г. Москва, Крымский вал, д.3, ауд. К-212.
Материалы:
«»: